中国电科金刚石异质结获突破 为半导体材料制备提供新范式

【中国电科金刚石异质结获突破 为半导体材料制备提供新范式】中国电科产业基础研究院固态微波器件与电路全国重点实验室金刚石团队，在金刚石异质结取得突破，打造出首个立方相氮化铝/金刚石异质结材料和场效应晶体管。科研团队创新提出畴匹配外延生长模式，利用金刚石表面氢终端当作调控反应的平台，形成高质量单晶立方氮化铝/金刚石异质结，并成功研制出高性能增强型异质结场效应晶体管。