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第二十六届中国国际工业博览会正在国家会展中心（上海）举行，创新科技馆百余项上海科创成果集中登场。 ...
来源摘要 · 华尔街见闻2026/10/14 19:11:32展开 / 收起
第二十六届中国国际工业博览会正在国家会展中心（上海）举行，创新科技馆百余项上海科创成果集中登场。 在朗道燧岩的展位前，一台极紫外（EUV）光源系统样机迎来工博会首秀，这也是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机，也被称作高端光刻机的“心脏”。极紫外光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制，是制约我国高端芯片自主可控的关键环节。 现场工作人员介绍
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