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微导纳米发布iMagtron系列磁控溅射系统和iTomic MeT系列原子层沉积系统Ru工艺
来源摘要 · 东方财富2026/10/14 16:08:17展开 / 收起
【微导纳米发布iMagtron系列磁控溅射系统和iTomic MeT系列原子层沉积系统Ru工艺】在今日的2026湾芯展开幕式上，微导纳米发布新产品及新工艺。其中，新产品为iMagtron系列磁控溅射系统设备，具备包括整体尺寸更紧凑；采用模块化设计，同一系统满足不同应用和技术节点Cu1-C74不同工艺需求；整体工艺上针对各个应用痛点，如Ta/TaN优化设计，PK LifeTime优化50%以上等优点
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